溅射用气体质量流量计

简介

溅射是半导体制造和太阳能电池生产中*应用的薄膜沉积技术。此工艺使用气体作为溅射靶，通过离子轰击将其分解为原子或离子，这些原子或离子随后沉积在基片上，形成薄膜。气体质量流量计 (MFC) 在溅射过程中起着至关重要的作用，因为它精确控制进入溅射腔的气体流量。

MFC 在溅射中的作用

MFC 在溅射过程中执行以下关键任务：

控制溅射气体流量：MFC 确保精确控制进入溅射腔的气体流量，例如氩气、氮气或氧气。这对于控制薄膜的厚度、结构和性能至关重要。 维持稳定工艺：MFC 通过保持稳定的气体流量，有助于维持稳定的溅射工艺。这可以防止过程波动和薄膜的不均匀性。 节约成本：MFC 通过精确控制气体流量，可以减少气体浪费，从而降低运营成本。

溅射用 MFC 的类型

用于溅射的不同类型的 MFC 包括：

热式质量流量计 (MFC)：基于热传导原理，该 MFC 测量气体质量流量。它简单易用，但对于某些腐蚀性或颗粒性气体可能不合适。 科里奥利质量流量计 (MFC)：基于科里奥利力原理，该 MFC 测量气体质量流量。它提供*和稳定性，但成本较高。 超声波质量流量计 (MFC)：基于超声波原理，该 MFC 测量气体质量流量。它具有耐腐蚀性和*的测量范围，但可能容易受到气流中的杂质影响。

选择溅射用 MFC

为溅射过程选择 MFC 时，需要考虑以下因素：

气体流量范围：MFC 的流量范围应与所需的气体流量相匹配。 精确度：MFC 的精确度应符合薄膜沉积要求。 稳定性：MFC 应能够在溅射过程中维持稳定的读数。 耐腐蚀性：MFC 应耐腐蚀性气体，例如氩气或氧气。 颗粒耐受性：对于颗粒性气体，MFC 应对颗粒不敏感。 成本：MFC 的成本应与预算相匹配。

维护和校准

定期维护和校准对于维护 MFC 的精度和可靠性至关重要：

定期清洁：清除沉积物和其他污染物有助于延长 MFC 的使用寿命。 校准：定期校准可确保 MFC 准确测量气体流量。

结论

气体质量流量计在溅射过程中起着至关重要的作用。通过精确控制气体流量，MFC 可以帮助产生均匀、一致的薄膜。选择合适的 MFC 至关重要，因为它会影响薄膜沉积的质量和工艺的整体效率。定期维护和校准对于确保 MFC 在*性能下运行至关重要。