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长春真空型压力变送器
发布时间:2024-07-07
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长春真空型压力变送器

简介

真空型压力变送器是一种专门用于测量真空环境下气体压力的传感器装置。其独特的结构和材料使其适用于包括半导体、制药和航空航天等*的工业领域。

基本原理

真空型压力变送器的工作原理基于压阻效应。当受压弹性体(如硅片)上的应变计受到真空压力的作用时,其电阻会发生变化。这种电阻变化与施加的真空压力成正比,从而实现压力测量的转换。

结构设计

传感元件:压阻元件置于真空腔体内,隔离真空环境。 真空腔体:由密封材料制成,确保真空密封性。 隔离膜片:将传感元件与真空腔体隔开,承受真空压力。 外壳:保护变送器免受外部环境影响。

材料选择

真空型压力变送器使用的材料至关重要,需要具备以下特性: 耐真空:承受高真空环境下的低压。 抗腐蚀:耐受气体或液体介质的腐蚀。 高弹性:隔离膜片要求有足够的弹性以承受真空压力。 低温漂移:在不同的温度条件下保持准确性。

输出信号

真空型压力变送器输出的信号类型主要有: 模拟信号:模拟电压或电流信号,与施加的真空压力成正比。 数字信号:使用数字协议,如Modbus或CANbus,输出压力值。

校准

真空型压力变送器的校准至关重要,以确保其测量精度。校准过程涉及将变送器的输出信号与已知真空参考压力进行比较,并相应地调整增益和偏移量。

应用领域

真空型压力变送器*应用于: 半导体行业:真空室、溅射系统、晶圆缺陷检测。 制药行业:灭菌室、冻干机、真空过滤。 航空航天行业:真空箱、空间模拟室、火箭推进系统。 食品行业:真空包装、真空冻干、食品加工。

选择因素

选择合适的真空型压力变送器时,需要考虑以下因素: 测量范围:所需真空压力的范围。 精度:所需压力测量的精度。 稳定性:长期稳定性,尤其是在真空条件下。 响应时间:真空压力变化时的响应速度。 耐腐蚀性:计划中使用的气体或液体介质的腐蚀性。

结论

长春真空型压力变送器是工业领域测量真空压力的关键组件。其独特的结构、*的材料和精确的校准使其成为可靠且准确的压力测量解决方案。选择合适的变送器至关重要,以满足特定的应用要求,从而实现*的测量性能。
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