薄膜式铂热电阻 (PTF) 是一种精确的高温测量设备,具有高准确度、稳定性和*的应用。它们被*用于工业、科学和医疗领域,以监测和控制温度。
PTF由一层薄薄的铂膜(通常为几微米)组成,该铂膜沉积在陶瓷或玻璃基板上。当铂膜受到电流时,会产生与温度成正比的电阻变化。这种电阻变化被测量并转换为温度值。
根据制造工艺和性能要求,PTF可分为以下类别:
1. 丝网印刷式铂热电阻丝网印刷式铂热电阻采用丝网印刷技术将铂糊印刷到基底上。这种工艺成本低廉,适用于批量生产。然而,丝网印刷的铂膜通常较厚,这会降低它们的测量精度。
2. 真空蒸镀式铂热电阻真空蒸镀式铂热电阻通过在低压下将铂原子从源材蒸发并沉积在基底上来制造。这种工艺产生非常薄且均匀的铂膜,从而提高测量精度。然而,真空蒸镀成本较高,适合于小批量生产和高端应用。
3. 电镀式铂热电阻电镀式铂热电阻采用电沉积法将铂层沉积在基底上。该工艺适用于复杂形状的基底,并且可以产生具有良好附着力的均匀铂膜。电镀式铂热电阻的精度略低于真空蒸镀式,但成本较低。
4. 化学气相沉淀 (CVD) 式铂热电阻CVD式铂热电阻采用金属有机化学气相沉淀 (MOCVD) 技术,将铂前驱体化学气相沉积到基底上。这种工艺可以产生超薄、高均匀性的铂膜,从而实现极高的测量精度。然而,CVD工艺的成本*,通常用于*苛刻的应用。
在选择PTF时,考虑以下关键参数非常重要:
1. 测量范围PTF的测量范围是其可以准确测量温度的范围。常见的测量范围包括 -50°C 至 500°C、0°C 至 1000°C 和 0°C 至 1500°C。
2. 精度精度是指PTF的读数与实际温度之间的*偏差。PTF的精度通常表示为百分比或*值,例如 ±0.1% 或 ±0.5°C。
3. 响应时间响应时间是指PTF在温度变化后达到稳定读数所需的时间。响应时间通常以秒为单位测量,对于快速变化的应用非常重要。
4. 稳定性稳定性是指PTF在一段时间内保持其测量特性的能力。稳定性通常受温度循环、湿度和化学环境的影响。
5. 机械强度机械强度是指PTF抵抗机械应力的能力。对于在振动或恶劣环境中使用的应用来说,机械强度非常重要。
PTF在*的应用中得到利用,包括:
1. 工业 温度控制 炉子和窑炉监测 半导体制造 航空航天 2. 科学 实验室研究 医疗器械 气象监测 3. 医疗 体温监测 手术仪器 呼吸机在选择PTF时,应考虑以下因素:
所需测量范围和精度 响应时间要求 环境条件 机械应力要求 成本和可用性通过了解不同类型的PTF及其特性,可以根据具体应用选择*合适的传感器。